1. Glava za lasersko zaznavanje in stopnja skeniranja vzorca sta integrirana, struktura je zelo stabilna in odpornost proti motnjam je močna
2.Natančna naprava za pozicioniranje sonde, nastavitev poravnave laserske točke je zelo enostavna
3. Enoosni pogonski vzorec se samodejno približa sondi navpično, tako da je konica igle pravokotna na skenirani vzorec
4. Inteligentna metoda dovajanja igel z motorno krmiljenim piezoelektričnim keramičnim avtomatskim zaznavanjem ščiti sondo in vzorec
5. Samodejno optično pozicioniranje, ni potrebe po fokusiranju, opazovanje v realnem času in pozicioniranje območja skeniranja vzorca sonde
6. Metoda, odporna na udarce vzmetnega vzmetenja, preprosta in praktična, dober učinek odpornosti na udarce
7.Kovinska zaščitena zvočno izolirana škatla, vgrajen visoko natančen senzor temperature in vlažnosti, spremljanje delovnega okolja v realnem času
8. Integrirani uporabniški urejevalnik nelinearnih popravkov optičnega bralnika, nanometrska karakterizacija in natančnost merjenja boljša od 98 %
| Način delovanja | način na dotik, način na dotik |
| Izbirni način | Trenje/bočna sila, amplituda/faza, magnetna/elektrostatična sila |
| krivulja spektra sil | FZ krivulja sile, RMS-Z krivulja |
| Območje skeniranja XY | 20*20um, neobvezno 50*50um, 100*100um |
| Z obseg skeniranja | 2,5 um, neobvezno 5 um, 10 um |
| Ločljivost skeniranja | Vodoravno 0,2 nm, navpično 0,05 nm |
| Velikost vzorca | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Vzorec odrskega potovanja | 15*15 mm |
| Optično opazovanje | 4-kratna optična leča objektiva/ločljivost 2,5 um |
| Hitrost skeniranja | 0,6 Hz-30 Hz |
| Kot skeniranja | 0-360° |
| Delovno okolje | Operacijski sistem Windows XP/7/8/10 |
| Komunikacijski vmesnik | USB2.0/3.0 |
| Zasnova za blaženje udarcev | Vzmetena škatla s kovinskim ščitom |
